[实用新型]一种具有温度监测功能的扩散炉

摘要

本实用新型提供一种具有温度监测功能的扩散炉，包括炉体、石英管、加热组件、加热控制器、温度检测模块、温度传送模块和控制模块，温度检测模块包括第一热电偶和第二热电偶，温度传送模块与第一热电偶、第二热电偶连接，且与控制模块连接；控制模块与加热控制器连接，加热控制器与加热组件连接。利用第一热电偶检测石英管管壁的实时温度，利用第二热电偶检测石英管内部的实时温度，利用温度传送模块将管壁与管内的实时温度传送给控制模块，控制模块再根据管壁和管内的实时温度通过加热控制器控制加热组件对石英管内的加热温度，从而能够对石英管内外多处温度进行实时监测，直观、精准地控制扩散温度，保证扩散工艺顺畅进行，提高产品合格率。