[实用新型]硅片取放料装置有效
| 申请号： | 202022237071.7 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN213264577U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 闫善韵 | 申请（专利权）人： | 苏州璞智自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32533 | 代理人： | 赵艾亮 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片取放料装置。该取放料装置包括机台、硅片花篮、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟、石英舟移动机构、硅片下降机构、花篮移动机构、定位机构，所述机台上安装有花篮移动机构、硅片抬升机构、抓硅片机械手、石英舟移动机构、硅片下降机构，机台上设有用于穿过硅片抬升机构的穿孔和用于穿过硅片下降机构的穿孔，石英舟移动机构上安装有用于定位石英舟的定位机构。本实用新型通过硅片花篮将一叠硅片水平移动至取料工位。通过硅片抬升机构将硅片从硅片花篮中升出。通过抓硅片机械手将升出的硅片抓走并放置到石英舟内。通过硅片下降机构将硅片沉入石英舟内。本申请提高了硅片取放料的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 取放料 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州璞智自动化科技有限公司，未经苏州璞智自动化科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022237071.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于内燃机的新型燃油滤器
- 下一篇：硅片放料装置
