[实用新型]一种用于镀膜机的控温装置

摘要

本实用新型公开了一种用于镀膜机的控温装置，包括真空炉，所述真空炉的内部底表面设置有蒸发源，所述真空炉的一侧内壁设置有第一加热器，所述真空炉的另一侧内壁设置有第二加热器，所述真空炉的内部上侧位置设置有第三加热器，所述第一加热器、第二加热器和第三加热器上均等距设置有多个加热管，所述第三加热器的下方设置有基片，所述真空炉的内壁对应基片的下表面后侧设置有多个膜厚仪，所述真空炉的内部顶表面设置有温度感应器，所述真空炉的外表面一侧连接有控制器。本实用新型中，炉内设有三个加热器，各加热器均由独立的加热管组成，实现不同区域温度独立控制，配合膜厚仪检测基片各位置镀膜厚度实现相应的控制作业，保证基片表面镀膜均匀。