[实用新型]氧化亚硅的生产装置有效

专利信息
申请号: 202022225333.8 申请日: 2020-10-08
公开(公告)号: CN214087742U 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 袁正秋;许曙光;禹方甜 申请(专利权)人: 孚林(常州)新材料科技有限公司
主分类号: C01B33/113 分类号: C01B33/113
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种氧化亚硅的生产装置,包括真空室、原料容器、加热源、支架、析出基体,原料容器、加热源、支架、析出基体均位于真空室内,加热源设置在原料容器上或者围绕在原料容器的周围,析出基体设置在支架上,还包括将氧化亚硅从析出基体上刮下来的刮削机构,刮削机构设置于真空室内。本实用新型可避免沉积在析出基体上的氧化亚硅受到温度影响而使品质下降。
搜索关键词: 氧化 生产 装置
【主权项】:
暂无信息
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