[实用新型]镀膜设备状态实时监控装置有效
| 申请号： | 202022159528.7 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN213327818U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王念;朱亚安;段尧;陈俐欣;张春梅;杨天伦 | 申请（专利权）人： | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 施建辉 |
| 地址： | 650223 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种镀膜设备状态实时监控装置，该装置设置于腔体底板中央，由气缸、空心保护柱、步进电机和摄像头组成：气缸设置在镀膜设备的高真空腔体底板外，腔体底板设置真空法兰，活塞穿过真空法兰进入腔体内；腔体底板上垂直设置空心保护柱，气缸活塞与空心保护柱同轴；活塞顶部依次向上设置有气缸、步进电机及摄像头，步进电机的转子带动摄像头旋转，所述气缸、步进电机及摄像头均设置于空心保护柱内；空心保护柱顶面中央开孔，开孔大小与摄像头匹配；摄像头、步进电机和气缸同时与控制器电性连接。该装置可实时监控挡板和坩埚口状况以及腔内任何可移动部件上的材料沉积情况、腔壁附着材料剥落情况，为随后的故障排除提供有力的支持。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 状态 实时 监控 装置 | ||
【主权项】：
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