[实用新型]一种扫描荧光检测装置有效
| 申请号： | 202022036432.1 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN212432985U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 刘亚;李运锋;于大维;王婷婷 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种扫描荧光检测装置，沿光束传播方向依次包括：激发光源模块，用于产生包含至少一种波长的光束，并发出一种波长的激发光束至第一光路整形模块；第一光路整形模块，用于接收所述激发光束并形成第一光斑；所述第一光斑用于照射到晶片上使晶片表面的有机物产生荧光；光收集模块，用于收集来自所述晶片表面的有机物产生的荧光；图像采集模块，用于接收所述光收集模块输出的荧光并进行成像。本实用新型提供的扫描荧光检测装置中，通过设置激发光源模块产生激发光束，该激发光束的波长可以根据晶片表面的有机物进行调整，使该波长的激发光束引起晶片上有机物光致发光效率最高，从而实现最大程度的提高待检测晶片上胶材范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 荧光 检测 装置 | ||
【主权项】：
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