[实用新型]一种扫描荧光检测装置

权利要求书

1.一种扫描荧光检测装置，其特征在于，沿光束传播方向依次包括：

激发光源模块，用于产生包含至少一种波长的激发光束，并发出一种波长的激发光束至第一光路整形模块；

第一光路整形模块，用于接收所述激发光束并形成第一光斑；

所述第一光斑用于照射到晶片上使晶片表面的有机物产生荧光；

光收集模块，用于收集来自所述晶片表面的有机物产生的荧光；

图像采集模块，用于接收所述光收集模块输出的荧光并进行成像。

2.根据权利要求1所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，所述激发光源模块用于产生包含至少两种波长的激发光束，并选择其中一种波长的激发光束发出传递给所述第一光路整形模块；

其中，所述其中一种波长的激发光束为引起晶片上有机物光致发光效率高于所述至少两种波长中其它波长的激发光束引起晶片上有机物光致发光效率。

3.根据权利要求2所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，所述激发光源模块至少包括第一光源、第二光源和第一合束元件，所述第一光源用于发出第一波长的第一光束，所述第二光源用于发出第二波长的第二光束，所述第一光束或所述第二光束经所述第一合束元件后照射至所述第一光路整形模块；

所述第一光路整形模块包括第一光斑生成元件，所述第一光斑生成元件用于将接收的所述激发光束整形形成所述第一光斑。

4.根据权利要求3所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，所述第一光斑为线光斑。

5.根据权利要求3所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，所述第一合束元件为二向色镜。

6.根据权利要求1所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，所述光收集模块包括物镜组，所述物镜组包括物镜前组、分光棱镜和物镜后组，所述分光棱镜设置于所述第一光路整形模块与所述物镜前组之间，所述第一光斑经所述分光棱镜反射后进入所述物镜前组，并穿过所述物镜前组照射到晶片上使晶片表面的有机物产生荧光，所述荧光经所述物镜前组后照射到所述分光棱镜并透射，透射出所述分光棱镜的荧光经所述物镜后组后进入所述图像采集模块成像。

7.根据权利要求6所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，所述分光棱镜的膜层对波长小于λ1的光反射，对波长大于λ2的光透射，所述激发光源产生的光束的波长小于λ1，所述荧光的波长大于λ2。

8.根据权利要求1所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，还包括明场照明模块，所述明场照明模块用于产生第二光斑，所述第二光斑用于照射到晶片上形成反射光束，所述光收集模块还用于收集所述反射光束，所述图像采集模块还用于接收所述光收集模块输出的反射光束进行成像。

9.根据权利要求8所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，所述第二光斑为可见光光斑，所述明场照明模块包括可见光光源和第二光路整形模块，所述可见光光源产生的可见光束经所述第二光路整形模块生成所述第二光斑。

10.根据权利要求8所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，所述第二光斑为线光斑。

11.根据权利要求8所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，还包括第二合束元件，所述第二合束元件设置于所述第一光路整形模块后，所述第一光路整形模块形成的所述第一光斑经所述第二合束元件后照射到晶片上使晶片表面的有机物产生荧光，所述明场照明模块形成的第二光斑经所述第二合束元件后照射到晶片上形成反射光束。

12.根据权利要求3所述的一种扫描荧光检测装置，其特征在于，所述激发光源模块还包括第一偏振调节元件和第二偏振调节元件；所述第一偏振调节元件用于调节所述第一光源发出的第一光束的偏振方向，所述第二偏振调节元件用于调节第二光源发出的第二光束的偏振方向。