[实用新型]多晶硅尾气回收系统有效
申请号: | 202021912593.6 | 申请日: | 2020-09-04 |
公开(公告)号: | CN213171482U | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 张强;李光平 | 申请(专利权)人: | 新疆大全新能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;C01B3/50;C01B7/07;C01B33/03 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 孟阿妮;张小勇 |
地址: | 832000 新疆维吾尔自治区石*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅尾气回收系统,涉及多晶硅生产设备技术领域,主要目的是提供一种能够降低能源消耗的多晶硅尾气回收系统。本实用新型的主要技术方案为:一种多晶硅尾气回收系统,包括:分离罐,分离罐用于分离氯硅烷液体和氢气;换热部件,第一氢气管道设置在第一尾气管道的外部,循环水管道设置在第二尾气管道的外部,冷冻水管道设置在第一液体管道的外部,氯硅烷管道设置在第一气体管道的外部,第一气体管道连接于第一液体管道,第一尾气管道连接于第二尾气管道,第二尾气管道连接于第一液体管道,第一液体管道连接于分离罐,第二液体管道连接于分离罐。本实用新型主要用于尾气热能回收。 | ||
搜索关键词: | 多晶 尾气 回收 系统 | ||
【主权项】:
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