[实用新型]一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒

摘要

本实用新型公开了一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，包括不锈钢层、上筒体、下筒体和连接机构，本实用新型通过设置了连接机构于上筒体外侧，通过固定环进入到T型环内侧底端进行固定，使得上筒体连接于外部的生产设备更加紧密，同时在硅胶环的作用下使得固定环和T型环的连接密封性更高，而拆卸过程可通过转动转杆带动固定块转动脱离凸板底部，使得T型杆受到弹簧弹力向上移动，并且T型杆配合传动架带动卡块向右移动脱离固定环底部的卡槽，从而完成对上筒体的拆卸，到达了提高导流筒的密封性和后期拆卸效率的有益效果。