[实用新型]一种硅片清洗辅助架有效
| 申请号： | 202021870250.8 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN213134254U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 商炜 | 申请（专利权）人： | 镇江晶鼎光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 李玉婷 |
| 地址： | 212000 江苏省镇江市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片清洗辅助架，包括：前置板、后置板、支撑栏杆、支撑底座，所述前置板和后置板平行设置，所述支撑栏杆设置在前置板和后置板之间，且所述支撑栏杆有两个对称设置在前置板和后置板的上端；所述支撑底座设置在前置板和后置板的下端部，且所述支撑底座的两端部分别约前置板和后置板的底部居中处连接。可使硅片排列均匀、放置稳定；进一步保障自动化硅片清洗的可行性；底座的夹板可对硅片进行夹持，进一步提高稳定性，且清洗完成后可直接将支撑底座可硅片同时取出，方便后续操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 辅助 | ||
【主权项】：
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