[实用新型]一种收集ITO靶材的专用装置有效
| 申请号： | 202021649401.7 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN213739649U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 唐安泰 | 申请（专利权）人： | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B65D25/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 杨千寻;冯振宁 |
| 地址： | 412000 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及加工设备技术领域，且公开了一种收集ITO靶材的专用装置，包括箱体，所述箱体的内部连接有加热器，所述箱体的顶部连接有壳体，所述壳体顶部的两侧均连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部连接有横杆，所述横杆的内部连接有两个液压伸缩气缸，所述液压伸缩气缸的伸缩端连接有按压板，所述壳体的顶部套接有两个料桶，所述箱体底部的两侧均连接有万向轮；本实用新型通过箱体、加热器、壳体、支撑杆、横杆、液压伸缩气缸、按压板、料桶和万向轮的设置，解决了现有ITO靶材收集专用装置功能单一，不能够有效对其进行烧结加工的问题，该装置能够有效对其进行烧结加工，从而提高了该装置的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 收集 ito 专用 装置 | ||
【主权项】：
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