[实用新型]金属蒸发源有效
| 申请号： | 202021641063.2 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN213266681U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 徐蒙蒙;王江南;张川;史晓波;冯敏强 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 韩晓园 |
| 地址： | 215212 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种金属蒸发源，包括：蒸发舟，包括用于存放金属的蒸发腔、与所述蒸发腔相连接的两个电极；位于所述蒸发腔内以辅助金属在液态时分布于所述蒸发腔的不同区域的辅助结构。本实用新型通过设置辅助结构，辅助金属在液态时分布于所述蒸发腔的不同区域，增加金属的蒸发面积，可以避免金属原子速率过大导致器件短路，提高蒸镀效率及蒸镀稳定性；本设计可以提升良率，节约成本提升效益。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 蒸发 | ||
【主权项】：
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