[实用新型]基板清洗刷及基板清洗装置有效
申请号: | 202021508200.5 | 申请日: | 2020-07-27 |
公开(公告)号: | CN213103420U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 黄超越;刘闽;史海洋;李望;李良 | 申请(专利权)人: | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/04 | 分类号: | B08B1/04 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 朱颖;臧建明 |
地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型提供一种基板清洗刷及基板清洗装置,其中,基板清洗刷包括转轴以及至少两个刷套;两个刷套均套设在转轴上,且两个刷套沿转轴的轴向间隔设置形成安装间隔;安装间隔内设置有调整机构,且调整机构可转动的安装在转轴上,以使转轴可以在驱动机构的作用转动从而带动刷套转动,进而对基板进行清洗;调整机构被配置为能够上下弯曲转轴,以调整转轴的同轴度在预设范围内,使得刷套沿转轴轴向与基板的接触量均在预设范围内,刷套沿转轴轴向与基板的接触量均匀,从而使得刷套对基板的接触力均匀,提高对基板的清洗效果,有利于提高产品的良率。 | ||
搜索关键词: | 基板清 洗刷 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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