[实用新型]基板清洗刷及基板清洗装置

权利要求书

1.一种基板清洗刷，其特征在于，包括：转轴以及至少两个刷套；

所述两个刷套均套设在所述转轴上，且所述两个刷套沿所述转轴的轴向间隔设置形成安装间隔；

所述安装间隔内设置有调整机构，且所述调整机构可转动的安装在所述转轴上，所述调整机构被配置为能够上下弯曲所述转轴，以调整所述转轴的同轴度在预设范围内。

2.根据权利要求1所述的基板清洗刷，其特征在于，所述调整机构包括第一轴承、第一轴承座以及驱动器；所述第一轴承套设在所述转轴上，且所述第一轴承的外侧套设有所述第一轴承座；所述驱动器的输出端与所述第一轴承座传动连接，所述驱动器通过驱动所述第一轴承座和所述第一轴承带动所述转轴上下弯曲变形，以调整所述转轴的同轴度在预设范围内。

3.根据权利要求2所述的基板清洗刷，其特征在于，所述调整机构还包括支撑架和传动组件，所述支撑架的底端与所述第一轴承座固定连接，所述支撑架的顶端与所述传动组件的输出端传动连接，所述传动组件的输入端与所述驱动器的输出端传动连接。

4.根据权利要求3所述的基板清洗刷，其特征在于，所述驱动器为电机；所述传动组件包括传动蜗轮、传动杆以及螺母组件；所述传动杆包括蜗杆部以及设置在所述蜗杆部下方的丝杆部，所述螺母组件固定在所述支撑架上，且所述螺母组件与所述丝杆部连接；

所述传动蜗轮与所述电机的输出轴传动连接，且所述传动蜗轮与所述蜗杆部啮合。

5.根据权利要求4所述的基板清洗刷，其特征在于，所述基板清洗刷还包括机架以及固定安装在机架顶端的安装板，所述电机固定在所述安装板上。

6.根据权利要求5所述的基板清洗刷，其特征在于，所述安装板上设置有滑动结构，所述支撑架上设置有与所述滑动结构相配合的配合结构，所述配合结构和所述滑动结构被配置为能够沿竖直方向滑动。

7.根据权利要求6所述的基板清洗刷，其特征在于，所述滑动结构和所述配合结构中的一者为沿竖向延伸的滑轨，所述滑动结构和所述配合结构中的另一者为沿竖向延伸的滑槽，所述滑轨和所述滑槽能够沿竖直方向相对滑动。

8.根据权利要求5所述的基板清洗刷，其特征在于，所述调整机构还包括两个与所述传动杆连接的支撑轴承组件，其中一个支撑轴承组件固定在所述安装板上，其中另一个所述支撑轴承组件固定在所述支撑架上。

9.根据权利要求1-8任一项所述的基板清洗刷，其特征在于，所述基板清洗刷还包括控制器，所述控制器与所述调整机构电连接。

10.一种基板清洗装置，其特征在于，包括工作台以及至少两个平行设置的权利要求1-9任一项所述的基板清洗刷，所述基板清洗刷固定在所述工作台上，且所述基板清洗刷的安装间隔沿转轴轴向的位置交错设置。