[实用新型]一种线源坩埚余料检测装置有效
| 申请号： | 202021504128.9 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN212864942U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 黄逸臻;孙玉俊;林仕龙 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种线源坩埚余料检测装置，坩埚上盖盖设于坩埚本体上，且坩埚上盖上设置有多个喷嘴；还包括：检测装置，检测装置用于检测线源坩埚内剩余的蒸镀材料；检测装置为超声波监测仪，超声波监测仪设置于坩埚上盖上方，且超声波监测仪包括：超声波发射探头、超声波接收装置，超声波发射探头、超声波接收装置集成在超声波监测仪内，且超声波发射探头用于发出超声波信号，超声波接收装置用于接收超声波信号；或者检测装置为磁场发射装置、磁场传感器，磁场发射装置设置于坩埚上盖上方，磁场传感器设置于坩埚本体下方；磁场发射装置用于发射磁场，磁场传感器用于接收磁场。提高了蒸镀产品的良率以及生产效率，减少废料的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 检测 装置 | ||
【主权项】：
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