[实用新型]一种CVD膜厚测量校准器有效
| 申请号： | 202021467417.6 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN212721359U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 潘东辉;张自胜 | 申请（专利权）人： | 扬州国宇电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 潘云峰 |
| 地址： | 225000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种CVD膜厚测量校准器，包括与待测晶圆尺寸匹配的板体，所述板体上均匀开设有若干个测量孔；所述板体边缘设有缺口，所述板体一侧边缘连接有手柄，所述手柄与所述板体一体成型设置，所述板体为特氟龙板体。本实用新型在测量晶圆表面CVD膜厚时，首先将晶圆放置在膜厚测量仪器上，之后将板体对准覆盖在晶圆上，并通过若干个测量孔来测量CVD若干点的厚度，有效避免点位偏差以及硅片位置偏差造成的膜厚偏差，保证测量值准确，从而提高产品质量判定的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 测量 校准 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于扬州国宇电子有限公司，未经扬州国宇电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021467417.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：冰箱真空管路的检验工装
- 下一篇：一种带有堆垛机构的剪板机
