[实用新型]晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉有效
| 申请号： | 202021259039.2 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN212865066U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王全志 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 卢春燕 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体生长炉的底部冷却部件及晶体生长炉，底部冷却部件包括：底盘和冷却组件，底盘采用导热金属；冷却组件包括多个水冷管套，多个水冷管套固定在底盘的底端，多个水冷管套自底盘的中部向外依次分布且呈同心排布，每个水冷管套均具有进水口和出水口，多个水冷管套各自独立，每个水冷管套的流量和流速中的至少一个被构造成可调节。由此，调控每组管套的水流量可以有效控制不同区域热量的分布，从而对长晶界面有明显的作用，W型界面也可以通过底部水冷盘的温度分布得到解决；而且使得底部热量分布更加可控，可以实现更多的界面形状，拓宽工艺窗口。此外，还具有结构简单、安装成本低廉、安装方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 底部 冷却 部件 | ||
【主权项】：
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