[实用新型]砷化镓抛光液自动循环过滤装置

摘要

本实用新型提供了砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其使得抛光药液通过自循环过滤，解决抛光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。液桶的上端盖装有顶盖，顶盖上预设有管路插孔、溢流桶安装接口，溢流桶安装接口下凸部分固装有循环药液溢流桶，循环药液溢流桶上设置有旁通溢流孔连通药液桶的内腔，药液桶的内腔内盛放有砷化镓抛光液，进液管上安装药管过滤罐芯后通过管路贯穿对应的管路插孔后连通至药液桶的内腔，其还包括有循环管，循环管的一端内插于药液桶的内腔的底部区域，循环管的一部分外露于药液桶后、其另一端置于循环药液溢流桶的内腔，出液管的进液部分位于循环药液溢流桶的内腔，出液管的出液部分安装蠕动泵后连接至抛光机的进药管。