[实用新型]砷化镓抛光液自动循环过滤装置

权利要求书

1.砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：其包括药液桶，所述药液桶的上端盖装有顶盖，所述顶盖上预设有管路插孔、溢流桶安装接口，所述溢流桶安装接口下凸部分固装有循环药液溢流桶，所述循环药液溢流桶上设置有旁通溢流孔连通所述药液桶的内腔，所述药液桶的内腔内盛放有砷化镓抛光液，进液管上安装药管过滤罐芯后通过管路贯穿对应的管路插孔后连通至所述药液桶的内腔，其还包括有循环管，所述循环管的一端内插于药液桶的内腔的底部区域，所述循环管的一部分外露于所述药液桶后、其另一端置于所述循环药液溢流桶的内腔，出液管的进液部分位于所述循环药液溢流桶的内腔，所述出液管的出液部分安装蠕动泵后连接至抛光机的进药管。

2.如权利要求1所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述药液桶内还排布有若干冷凝管。

3.如权利要求1所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的外露于所述药液桶的部分沿着流向分别设置有隔膜泵、循环滤芯，所述循环滤芯的过滤精度优于所述药管过滤罐芯的过滤精度。

4.如权利要求1所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述药液桶内还设置有液位计，所述液位计沿着药液桶的高度方向布置。

5.如权利要求1所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的一端贯穿对应的管路插孔后内插于药液桶的内腔的底部区域。

6.如权利要求1所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的一端、进液管对应的管路插孔上盖装有端盖连接头，端盖连接头确保循环管、进液管对应于顶盖位置的封装连接。

7.如权利要求1所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的另一端、出液管分别通过溢流桶安装接口安装于所述循环药液溢流桶的旁通溢流孔的下方位置区域，所述溢流桶安装接口的上凸表面盖装有封装盖。