[实用新型]大硅片研磨液回收系统装置有效
| 申请号： | 202021058804.4 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN212396056U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 吴思韵;施文俊;邢广兴 | 申请（专利权）人： | 深圳融科科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/52 | 分类号： | B01D29/52;B01D29/11 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 沈锋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片研磨抛光技术领域，特别涉及大硅片研磨液回收系统装置，包括依次管道连接的初级过滤器、缓冲罐、输送罐和输送过滤器，所述初级过滤器和所述输送过滤器均与研磨液供应系统管道连接，所述初级过滤器、缓冲罐和输送罐均与废液排放系统管道连接。与现有技术相比，本发明所提供的大硅片研磨液回收系统装置，系统管路简单，容易清洁保养，研磨废液回收利用率高，不仅高效且快速地过滤清理研磨废液中的杂质，还可以实时监控其品质变化，从而对研磨废液进行高效循环利用，降低研磨工序成本成本，避免浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 研磨 回收 系统 装置 | ||
【主权项】：
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