[实用新型]一种常压化学气相淀积设备旋洁器有效
申请号: | 202021037829.6 | 申请日: | 2020-06-08 |
公开(公告)号: | CN212525307U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 赵志强 | 申请(专利权)人: | 无锡芯谱半导体科技有限公司 |
主分类号: | B08B9/087 | 分类号: | B08B9/087;B08B9/093;C23C16/44 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 韩璐 |
地址: | 214000 江苏省无锡市会*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种常压化学气相淀积设备旋洁器,包括金属外壳,所述金属外壳内侧顶端安装有马达,所述金属外壳内侧底端中部嵌入安装有轴承,所述轴承内部套接有连接杆,所述连接杆底端贯穿于金属外壳的底端,所述连接杆顶端和马达的输出轴外部均套接有齿轮,两个所述齿轮之间啮合连接,所述连接杆底端安装有刮板,所述刮板底端均匀嵌入安装有凸块。本实用新型涉及机械设备技术领域,通过马达和齿轮的作用,便于带动连接杆在轴承内部转动,进而带动连接杆底端安装的刮板和其上的凸块进行转动,以便能够对常压化学沉积设备中含有的有大量粉末进行旋转刮除,操作便捷,无需人工操作,提高了工作效率,方便实用。 | ||
搜索关键词: | 一种 常压 化学 气相淀积 设备 旋洁器 | ||
【主权项】:
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