[实用新型]一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置有效
| 申请号： | 202021010826.3 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN212299590U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 孔超;陈立;任杰;李林 | 申请（专利权）人： | 中山易必固新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F25D3/10 | 分类号： | F25D3/10;F25D29/00;H05K7/20 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 528437 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，包括用于装载液氮的液氮罐、第一汽化管路、第二汽化管路、输出管路和用于装载冷却水的水箱，所述液氮罐、第一汽化管路和输出管路顺次相连，所述液氮罐、第二汽化管路和输出管路顺次相连，所述第一汽化管路设置有第一电磁阀和第一汽化器，所述第二汽化管路设置有第二电磁阀和液氮换热器，所述液氮换热器设置在水箱中。本实用新型利用液氮汽化过程对冷却水进行冷却，有效降低了电能消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 电子束 设备 液氮 利用 装置 | ||
【主权项】：
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