[实用新型]一种晶圆运输用板车有效
| 申请号： | 202020973722.6 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN212332693U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 魏剑宏 | 申请（专利权）人： | 苏州昂科微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/00 | 分类号： | B62B3/00;B62B5/00;F16F15/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州相城经济技术*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆运输设备技术领域，具体是一种晶圆运输用板车，包括握把、轮架、轮架弹簧和轮，所述握把底部焊接固定在所述放置平板上端面且焊接处左右两侧对称焊接有加强筋；所述放置平板滑动安装在连接框的轨道内，所述连接框上方加工有限位板；所述连接框底部焊接固定有所述轮架；所述连接框内部为空腔，所述放置平板下端面和所述连接框底部内壁间通过减震器连接。本实用新型通过在所述握把和所述轮架的连接处设置所述减震器和所述减震板，进一步提高了板车运输过程中的减震效果，使运送过程中晶圆半成品不会发生震动造成碰撞，对企业提高经济效益有积极意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运输 板车 | ||
【主权项】：
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