[实用新型]一种晶圆运输用板车

说明书

本实用新型涉及晶圆运输设备技术领域，具体是一种晶圆运输用板车，包括握把、轮架、轮架弹簧和轮，所述握把底部焊接固定在所述放置平板上端面且焊接处左右两侧对称焊接有加强筋；所述放置平板滑动安装在连接框的轨道内，所述连接框上方加工有限位板；所述连接框底部焊接固定有所述轮架；所述连接框内部为空腔，所述放置平板下端面和所述连接框底部内壁间通过减震器连接。本实用新型通过在所述握把和所述轮架的连接处设置所述减震器和所述减震板，进一步提高了板车运输过程中的减震效果，使运送过程中晶圆半成品不会发生震动造成碰撞，对企业提高经济效益有积极意义。

技术领域

本实用新型涉及晶圆运输设备技术领域，具体是一种晶圆运输用板车。

背景技术

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。晶圆的衬底材料有硅、锗等，由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆，地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

现有技术中，晶圆在车间生产加工过程中，往往需要工作人员使用板车将晶圆半成品运输至下一道工序的车间进行再加工，在此运输过程中，晶圆放置在板材上，如遇到震动，晶圆发生碰撞，会严重影响晶圆的品质，严重的会直接导致晶圆半成品报废，因此运输晶圆半成品的板车需要有很好的防震性能。

实用新型内容

为了解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供了一种晶圆运输用板车。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆运输用板车，包括握把、轮架、轮架弹簧和轮，所述握把下方设置有左右对称的两个所述轮架，所述轮架底部设置有所述轮架弹簧和轮；所述握把底部焊接固定在放置平板上端面且焊接处左右两侧对称焊接有加强筋，提高焊接处的强度；所述放置平板滑动安装在连接框的轨道内，所述连接框上方加工有限位板，起到限位作用，保证所述放置平板不会从所述轨道内脱落；所述连接框底部焊接固定有所述轮架；所述连接框内部为空腔，所述放置平板下端面和所述连接框底部内壁间通过减震器连接，起到二级减震的技术效果，振动发生时所述放置平板在所述轨道内上下滑动，且通过所述减震器达到减震效果；所述放置平板下端面中心处焊接固定有连接板，所述连接板下端面焊接固定有数量大于二的减震板，所述减震板通过固定扣固定在一起，底部所述减震板左右两端通过固定脚固定在所述连接框底部内壁，所述减震板形变可以起到三级减震的技术效果。

作为本实用新型的进一步方案:所述减震器包括上部板、滑杆、减震器弹簧、下部板，所述上部板上端面焊接固定在所述放置平板下端面，所述上部板下端面焊接固定有所述滑杆，所述滑杆底部滑动安装在所述下部板内，所述滑杆上套有所述减震器弹簧，所述下部板底面焊接固定在所述连接框底部内壁。

作为本实用新型的进一步方案:所述固定脚包括转动连接件、滑块、固定脚弹簧，所述转动连接件顶部焊接固定在所述减震板上，所述滑块上部转动安装在所述转动连接件上，所述滑块下部滑动安装在滑槽内，所述滑槽开设于所述连接框底部内壁，所述滑块下部与所述滑槽的空隙处放置有固定脚弹簧，起到固定所述减震板的作用，同时所述减震板发生形变时保证所述减震板的稳定性。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

板车运输过程中，除了所述轮架弹簧可以进行减震，所述减震器可以进行二级减震，所述减震板可以进行三级减震，同时保证轮架的稳定性不受影响，且所述减震器和所述减震板安装在所述放置平板和所述连接框之间，处于密封环境，使用寿命长，稳定性好，不易损坏。本实用新型通过设置所述减震器和所述减震板，进一步提高了板车运输过程中的减震效果，使运送过程中晶圆半成品不会发生震动造成碰撞，对企业提高经济效益有积极意义。

附图说明