[实用新型]一种检测硅烷气体的检测装置

摘要

本实用新型属于硅烷气体检测设备技术领域，具体涉及一种检测硅烷气体的检测装置，包括装置主体，所述转换管的一侧安装有流量计，所述输气管的一侧安装有分流管，所述固定槽的上方安装有检测仪，所述装置主体的上方安装有碱液箱，所述出气管的一侧安装有收集桶，分流管用于将输气管内的硅烷气体进行气体分流，不仅可以避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，而且分流后的硅烷气体会流进相应的检测仪进行检测，增加检测数据的多样性和精准性，碱液箱用来盛放低浓度的碱液，进而完成对硅烷气体的第一步水解，收集桶通过去离子水与硅烷气体的水解反应，完成对硅烷气体的第二步水解，避免硅烷气体因水解反应不完全，而排放到空气中对环境造成危害。