[实用新型]一种检测硅烷气体的检测装置

说明书

本实用新型属于硅烷气体检测设备技术领域，具体涉及一种检测硅烷气体的检测装置，包括装置主体，所述转换管的一侧安装有流量计，所述输气管的一侧安装有分流管，所述固定槽的上方安装有检测仪，所述装置主体的上方安装有碱液箱，所述出气管的一侧安装有收集桶，分流管用于将输气管内的硅烷气体进行气体分流，不仅可以避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，而且分流后的硅烷气体会流进相应的检测仪进行检测，增加检测数据的多样性和精准性，碱液箱用来盛放低浓度的碱液，进而完成对硅烷气体的第一步水解，收集桶通过去离子水与硅烷气体的水解反应，完成对硅烷气体的第二步水解，避免硅烷气体因水解反应不完全，而排放到空气中对环境造成危害。

技术领域

本实用新型属于硅烷气体检测设备技术领域，具体涉及一种检测硅烷气体的检测装置。

背景技术

硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物，目前应用最多地是甲硅烷，一般把甲硅烷简称作硅烷，硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物，因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体，硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物，硅烷的高科技应用还在不断出现，包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础，硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称，硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体，因此需要对其进行检测，现有硅烷气体的检测装置安全性低，检测数据单一，不能对检测后的硅烷气体进行彻底的水解反应，甚至直接排放至空气中，对环境造成巨大的破坏。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种检测硅烷气体的检测装置，具有使用简单方便，装置主体为整个检测装置提供密闭的检测环境，防爆外壳的运用提高检测装置使用的安全性，分流管用于将输气管内的硅烷气体进行气体分流，不仅可以避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，而且分流后的硅烷气体会流进相应的检测仪进行检测，增加检测数据的多样性和精准性，碱液箱和收集桶对硅烷气体进行双重水解反应，避免硅烷气体因水解反应不完全，而排放到空气中对环境造成危害的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种检测硅烷气体的检测装置，包括装置主体，所述装置主体的下方安装有固定底座，所述装置主体的一侧安装有进气管，所述进气管的一侧安装有转换管，所述转换管的一侧安装有控制阀门，所述转换管的一侧安装有流量计，所述转换管的一侧安装有输气管，所述输气管的一侧安装有分流管，所述装置主体的内侧安装有固定槽，所述固定槽的上方安装有检测仪，所述检测仪的一侧安装有集气管，所述集气管的一侧安装有出气管，所述装置主体的内侧安装有风扇，所述装置主体的上方安装有碱液箱，所述碱液箱的上方安装有碱液箱上盖，所述装置主体的内侧安装有喷淋管，所述喷淋管的下方安装有喷淋头，所述出气管的一侧安装有收集桶,所述装置主体的一侧安装有控制开关。

优选的，所述装置主体为长方形主体，安装于固定底座的上方位置，其组成的外壳均为防爆外壳；装置主体为整个检测装置提供密闭的检测环境，避免因硅烷气体与空气直接接触发生燃烧和爆炸，防爆外壳的运用提高检测装置使用的安全性。

优选的，所述流量计为气体质量流量计，安装于转换管中；流量计用于测量转换管里面硅烷气体的体积流量，进而可以通过控制阀门调整进入输气管的硅烷气体流量，从而保障检测结果的准确性，气体质量流量计不受温度与压力变动的影响，其显示读数直接指示气体的体积流量，在常压、高压或负压的条件下均可选用，适用的量程范围宽，抗介质腐蚀的能力强，计量精度高。

优选的，所述分流管为圆柱形管道，共有三根，平行安装于输气管与检测仪的中间位置；分流管用于将输气管内的硅烷气体进行气体分流，不仅可以避免气体堆积在同一管道而发生燃烧和爆炸，而且分流后的硅烷气体会流进相应的检测仪进行检测，增加检测数据的多样性和精准性。