[实用新型]一种用于真空设备封口的真空检测装置有效
申请号: | 202020792506.1 | 申请日: | 2020-05-13 |
公开(公告)号: | CN212621313U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 陈国明;陈澄;王珍华 | 申请(专利权)人: | 杭州大精真空技术有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 杭州仁杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 33297 | 代理人: | 张俊 |
地址: | 311100 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种不仅结构简单,而且使用灵活性好,同时使用适用性好的一种用于真空设备封口的真空检测装置,包括检测平台、氦气单元、氦质谱检测仪和真空泵,所述检测平台的上端面的光洁度达到8级或以上,在待检测的真空设备放置在检测平台的上端面时真空设备的封口的下端面与检测平台的上端面实现面面接触。优点:一是真空检测装置不仅结构简单,而且检测准确性好,同时使用灵活性高;二是真空检测装置不仅适用性好,而且使用成本低,同时维养方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 真空设备 封口 真空 检测 装置 | ||
【主权项】:
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