[实用新型]一种晶硅切片用衬板及其结构有效
| 申请号： | 202020724878.0 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN213382337U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 毛剑波;成路;肖刚;张济蕾 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京工信联合知识产权代理有限公司 11266 | 代理人： | 白晓晰 |
| 地址： | 710000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶硅切片用衬板及其结构，衬板连接于晶托和待切片的晶硅之间，衬板包括板体，板体包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面靠近晶托，第二表面靠近待切片的晶硅，板体为硅材质。本实用新型的晶硅切片用衬板及其结构，能够有效保证线锯出刀阶段的线弓的稳定性，大大降低了线锯的振动，从而提升了硅片生产的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切片 用衬板 及其 结构 | ||
【主权项】：
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