[实用新型]一种晶圆切割用保护膜有效

专利信息
申请号: 202020685139.5 申请日: 2020-04-28
公开(公告)号: CN212269967U 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: 柯跃虎;诸葛锋;宋亦健;曾庆明 申请(专利权)人: 广东硕成科技有限公司
主分类号: C09J7/29 分类号: C09J7/29
代理公司: 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 代理人: 李萍
地址: 512000 广东省韶关市乳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种晶圆切割用保护膜,依次由基材层、第一隔热层、加固层、第二隔热层、胶层和离型层构成;所述基材层由聚丙烯粒子通过挤出流延法制备得到。保护膜的各层相互配合,相辅相成,在对保护膜进行切割时,可以提高保护膜的整体热稳定性和强度性能,防止激光的热量对切割口周围的保护膜造成损坏,设计合理,工艺简单,大大提高了激光切割工作的工作效率和工作质量。
搜索关键词: 一种 切割 保护膜
【主权项】:
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