[实用新型]掩膜板组件有效
申请号: | 202020656789.7 | 申请日: | 2020-04-26 |
公开(公告)号: | CN212025440U | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 何潘婷;肖磊芳 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;张博 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种掩膜板组件,包括第一掩膜板,以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条,所述第一掩膜板包括第一框架、以及设置于所述第一框架相对的一组侧边框之间的第一支撑条,所述第一支撑条的第一区域上设置有包括多个第一通孔的第一镂空部,多个所述第一通孔用于与多种所述第一掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第一功能结构。 | ||
搜索关键词: | 掩膜板 组件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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