[实用新型]一种用于盛装高纯化学品的专用源瓶与阀门

摘要

本实用新型涉及一种用于盛装高纯化学品的专用源瓶与阀门，属于光伏及半导体行业高纯化学品盛装技术领域。包括源瓶与阀门，阀门进气接口和阀门出气接口垂直于阀体且进出气接口朝上，避免在进出气管道上及阀门所有通道上产生积液堵管。阀体与瓶口通过热缩套管进行二次密封与固定，杜绝化学品泄露。只要通过旋转阀门手柄就可实现阀门的进出气同时打开或同时关闭，采取进出气接口端外螺纹大小不同的差异化设计，阀门进气接口端和阀门出气接口端标识清晰，阀门开启与关闭标识明显，可完全杜绝因人员误操作带来的源瓶爆瓶安全事故，也完全杜绝误接错进出气管道将液态化学品压入扩散炉管内的安全事故，操作简单，极大地提高扩散过程的安全性。