[实用新型]一种用于盛装高纯化学品的专用源瓶与阀门

说明书

本实用新型涉及一种用于盛装高纯化学品的专用源瓶与阀门，属于光伏及半导体行业高纯化学品盛装技术领域。包括源瓶与阀门，阀门进气接口和阀门出气接口垂直于阀体且进出气接口朝上，避免在进出气管道上及阀门所有通道上产生积液堵管。阀体与瓶口通过热缩套管进行二次密封与固定，杜绝化学品泄露。只要通过旋转阀门手柄就可实现阀门的进出气同时打开或同时关闭，采取进出气接口端外螺纹大小不同的差异化设计，阀门进气接口端和阀门出气接口端标识清晰，阀门开启与关闭标识明显，可完全杜绝因人员误操作带来的源瓶爆瓶安全事故，也完全杜绝误接错进出气管道将液态化学品压入扩散炉管内的安全事故，操作简单，极大地提高扩散过程的安全性。

技术领域

本实用新型涉及一种用于盛装高纯化学品的专用源瓶与阀门，属于光伏及半导体行业的高纯化学品盛装技术领域。

背景技术

现有的近几年随着太阳能电池制造业和半导体的快速发展，对高纯化学品的用量逐年增加，同时对使用高纯化学品的安全也越来越重视。

目前用于半导体及光伏行业扩散工序的高纯化学品的包装主要是使用带有进气管和出气管的石英源瓶，进出气管上各有自己独立的阀门进行控制，且石英源瓶上的进出气管较小（外径为10-11mm）且进出气管上有卡槽，卡槽处大大降低了进出气管的强度，经过近20年实际使用实践证明，原有石英源瓶进出气管卡槽处极易折断，从而导致有毒化学品泄露。由于进出气阀门是独立分开的，操作人员容易忘记打开出气阀门，当往源瓶内通入氮气鼓泡时，源瓶内的压力会逐渐增加，从而会导致源瓶憋压爆瓶事故。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足之处，本实用新型提供一种用于盛装高纯化学品的专用源瓶与阀门，将原来带有进气管和出气管的石英源瓶改为只有一个螺纹接口的源瓶，改进后的源瓶具有螺纹口粗且壁厚厚的特点，完全杜绝源瓶断管的风险；改进后的阀门具有一个阀门控制进出气同时打开或同时关闭的功能，完全杜绝因人员误操作导致源瓶憋压爆瓶事故；改进后的源瓶和阀门，极大地提高了使用的安全性。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种用于盛装高纯化学品的专用源瓶与阀门，其特征在于：包括源瓶和阀门，阀门包括阀芯、阀体、阀门手柄、阀门进气接口、阀门出气接口、阀门进气通道和阀门出气通道，所述阀芯、阀门进气接口和阀门出气接口安装在阀体上，阀门手柄安装在阀芯上，阀门进气通道和阀门出气通道设置在阀体内部，阀门进气通道连接阀门进气接口与阀体底部，阀门出气通道连接阀门出气接口与阀体底部，阀芯将阀门进气通道和阀门出气通道分成两段，阀芯在阀门进气通道和阀门出气通道处分别设有阀芯进气孔和阀芯出气孔，所述的阀门进气通道的底部连接阀门进气管，所述的阀体的底部设有螺纹接口，阀门通过螺纹接口固定在源瓶的螺纹口上。

所述的阀芯一端连接阀门手柄通过阀门手柄旋转控制阀芯旋转，阀芯的末端伸出阀体，阀芯的末端设有凹槽，凹槽上设有阀芯末端密封圈。

所述的阀门进气通道的底部设有螺纹，阀门进气管通过螺纹连接在阀门进气通道上，所述的阀门进气管底部设有进气管气体分布器，所述的进气管气体分布器侧壁上设有小孔，小孔数量为3-20个。

所述的阀门进气接口和阀门出气接口安装在阀体顶端垂直于阀体且接口朝上，所述的阀门进气接口和阀门出气接口为差异化设计，阀门进气接口和阀门出气接口的外螺纹一个大一个小。

所述的源瓶与阀门的连接处设有O型圈与源瓶的瓶口面进行第一次密封。

所述的源瓶与阀门的连接处采用热缩套管进行二次密封。

所述的源瓶的材质使用石英、PTFE或PFA材质；阀门的材质使用PVDF、PTFE或PFA耐腐蚀材料。