[实用新型]一种用于硅片切割的润滑冷却装置有效
| 申请号： | 202020559729.3 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN212096988U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 邢旭;李璐;唐亮;明兆坤 | 申请（专利权）人： | 长治高测新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 任漱晨 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于硅片切割的润滑冷却装置，属于晶硅加工设备领域，和切片机相配合，包括冷却装置和树脂板，所述冷却装置和树脂板配合使用，所述冷却装置包括依次连接的喷头、连接管和阀门，所述树脂板内设置有供冷却液通过的冷却液通道，所述喷头与冷却液通道相连通，用于为硅片切割进行辅助冷却和润滑，具有结构简单，便于与现有切片机对接，适用范围广，从内部切割区域直接进行冷却润滑，有效降低金刚线切割加切的发生，提高生产效率及切割良率，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 切割 润滑 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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