[实用新型]一种硅片加工用超声波清洗机有效
| 申请号： | 202020482016.1 | 申请日： | 2020-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN210966164U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 赵亮;张昱博;张帅 | 申请（专利权）人： | 曲靖阳光能源硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00;F26B23/06 |
| 代理公司： | 长沙睿翔专利代理事务所(普通合伙) 43237 | 代理人： | 周松华;孙建霞 |
| 地址： | 655000 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片加工用超声波清洗机，包括超声波清洗机，该超声波清洗机上设置有清洗槽，所述清洗槽的底端设置有承接板，该承接板的上端面向下延伸设置有定位孔，定位孔上可拆卸地设置有硅片放置组件，所述硅片放置组件包括石英壶和放置架，放置架放置于石英壶内，该放置架上端面向下延伸设置有卡槽，所述石英壶的下端面设置有定位杆，该定位杆可拆卸地安装在定位孔中，所述超声波清洗机上还设置有烘干槽，该烘干槽设置在清洗槽的一侧，所述烘干槽的底端设置有与定位杆相对应的紧固槽，所述烘干槽的内壁上设置有加热器。本实用新型中定位孔和定位杆的设计，使石英壶可拆卸地安装在清洗槽中，方便对硅片的拿取以及放置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 工用 超声波 清洗 | ||
【主权项】：
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