[实用新型]一种靶材降温电动升降装置有效
| 申请号： | 202020461342.4 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN211947208U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;方庭忠 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材降温电动升降装置，所述升降装置包括升降部和槽体；所述升降部包括驱动装置和升降平台；所述升降部设置于槽体的侧面；所述升降平台位于槽体的上方；所述升降平台的面积小于槽体水平开口的面积。通过该装置可以提高料架寿命，减少人员劳动强度，同时不影响产品水冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降温 电动 升降 装置 | ||
【主权项】：
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