[实用新型]防溢蒸晶圆蒸发台有效
| 申请号： | 202020409421.0 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212375370U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 田英干 | 申请（专利权）人： | 嘉兴晶装电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/16 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王大国 |
| 地址： | 314199 浙江省嘉兴市嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了防溢蒸晶圆蒸发台，包括基板，所述基板的上表面中间位置设置有台体，且基板的顶部开设有固定腔，所述台体的下表面中间位置焊接有底盘，且台体的底部固定安装有定位套，所述台体的下表面中间位置通过定位套垂直活动安装有驱动轴，所述台体的外表面设置有罩壳，且基板的上表面焊接有和罩壳相对应的固定座，所述固定座的横截面形状为圆环形。本实用新型中，蒸发台组装的密封效果优异且可对外壳的表面进行升温以避免起雾影响对晶圆加工的实时观察，同时，晶圆卡合固定可防止在旋转的过程中移位且设有漏斗型导液通道，使得金属蒸汽沿固定区域准确镀膜，提高晶圆的镀膜覆盖率和减少了蒸汽损失以提高利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 防溢蒸晶圆 蒸发 | ||
【主权项】：
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