[实用新型]一种基于微波谐振的薄膜检测装置有效
| 申请号： | 202020353552.1 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN212254033U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 谢明;徐程松;刘伟雄;张杨;肖伟 | 申请（专利权）人： | 绵阳人众仁科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;G01N22/00;G01N22/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621000 四川省绵阳市涪城区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于微波谐振的薄膜检测装置，属于薄膜生产领域。包括同步传输框架、设置在同步传输框架顶端并与同步传输框架滑动连接的上检测架、设置在同步传输框架底端并与同步传输框架滑动连接的下检测架以及设置在上检测架与下检测架之间的薄膜检测间隙，本实用新型实现了薄膜物理参数动态测量，圆谐振腔上下两部分间隙和同轴度的微米级调节，并采用微波谐振方法同时测量薄膜厚度和水份浓度精度高，测量范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微波 谐振 薄膜 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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