[实用新型]一种靶材辅助抛光装置有效
| 申请号： | 202020343336.9 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN211841488U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;祝龙飞 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/04 | 分类号： | B24B29/04;B24B27/00;B24D9/08 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材辅助抛光装置，所述装置包括：手柄和端头圆盘；所述端头圆盘的形状为圆台；所述圆台直径小的一面和所述手柄相连接；所述手柄的形状为柱状。本实用新型提供的装置简单小巧，实用性强，成本低，抛光效率高，安全性高，抛光后表面质量好，抛光后纹路均匀，表面质量好，可以明显改善靶材初期溅射镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 抛光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020343336.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：螺旋风管法兰连接结构
- 下一篇：一种流量可调的连续和脉冲双模式供氧模块
