[实用新型]一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机有效
| 申请号： | 202020238511.8 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN212025441U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;缪磊;高众;姚伟 | 申请（专利权）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 荣红颖;冯娟 |
| 地址： | 100081 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机，所述组合式PVD镀膜靶材包括材质不同的靶材本体和底座，所述靶材本体与所述底座分体设置，所述底座的第一端与所述靶材本体的一端连接，将所述底座与所述靶材本体组合为一体。本实用新型的组合式PVD镀膜靶材可以解决现有技术的脆性靶材与镀膜机安装配合时存在容易断裂的问题，有助于改善成膜质量，提高生产效率并降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合式 pvd 镀膜 | ||
【主权项】：
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