[实用新型]真空泵及检漏仪有效
| 申请号： | 202020221355.4 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN211452758U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 眞锅雅嗣 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空泵与检漏仪，能够防止真空泵内的缓慢泄漏的产生。真空泵包括：泵转子部(30)，层叠着多个转子盘(30a)、转子盘(30b)，所述转子盘(30a)、转子盘(30b)包括形成为环状的层叠部(300)、及呈放射状形成于层叠部(300)的外周侧的涡轮叶片(302)；轴(10)，对层叠着的多个转子盘(30a)、转子盘(30b)的层叠部(300)的内周面进行固定；以及放气用槽(313)，将轴(10)与层叠部(300)之间的存气空间(A)和配置有涡轮叶片(302)的泵排气通道(C)加以连通，使存气空间(A)内的气体经由泵排气通道(C)排出。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 检漏 | ||
【主权项】：
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