[实用新型]一种具有通道测试功能的探针卡有效

专利信息
申请号: 202020140748.2 申请日: 2020-01-21
公开(公告)号: CN212459794U 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 郭丹;成家柏 申请(专利权)人: 杭州广立微电子股份有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067
代理公司: 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 代理人: 王静
地址: 310012 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型提供一种具有通道测试功能的探针卡,包括电路板、至少两个探针、至少两个电路通道,转换电路、控制模块和至少两个测试元件;测试机通过控制模块向开关控制器件传输选择信号,以选择连通的开关器件,进而实现:控制所有开关器件B连通时,所述具有自测功能的探针卡能作为常规的探针卡使用,用于晶圆芯片测试;控制任意两个开关器件A连通时,能利用测试元件对这两个开关器件A所连接的电路通道进行测试。
搜索关键词: 一种 具有 通道 测试 功能 探针
【主权项】:
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