[实用新型]一种磁控溅射仪挡板辅助打开装置

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射仪挡板辅助打开装置，包括磁控溅射靶、设置在磁控溅射靶顶部的挡板及设置在挡板上的挡板打开装置，所述挡板打开装置包括联轴套筒、第一电机、第一钢丝绳及第一转轴，所述联轴套筒固定设置在挡板上，所述第一转轴设置在第一电机上，所述第一钢丝绳一端与联轴套筒固定连接，另一端与第一转轴固定连接。本实用新型的有益效果：设计巧妙，结构合理，使用方便；应用本装置辅助挡板打开，保证了挡板打开的充分性，提高了所镀薄膜的均匀性和成品率，且整个装置占用真空室内部空间较小，控制简单，拆卸方便，对薄膜的研究领域具有重要意义。