[实用新型]一种链式电阻测试结构及测试系统有效
| 申请号： | 202020138147.8 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN211955654U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 杨慎知;刘慧斌;章中强 | 申请（专利权）人： | 杭州广立微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种链式电阻测试结构及测试系统，包括至少一个测试单元；所述测试单元包括至少两条测试链；每条测试链包括至少一个位于第一电介质层的第一导电结构、至少一个位于第二电介质层的第二导电结构和至少一个连接结构，第一导电结构与第二导电结构通过连接结构电连接，以形成测试链；所述的至少两条测试链通过第一导电结构或第二导电结构实现并联，以形成测试单元；所有测试单元通过第一导电结构或第二导电结构串联，以形成链式电阻测试结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 链式 电阻 测试 结构 系统 | ||
【主权项】：
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