[实用新型]一种碳材料的镀膜设备有效
| 申请号: | 202020081959.3 | 申请日: | 2020-01-15 |
| 公开(公告)号: | CN211522310U | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
| 发明(设计)人: | 刘灿;郑云武;史正军;阚欢;徐开蒙;林旭;丁宽;施蕊;刘云 | 申请(专利权)人: | 西南林业大学 |
| 主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 刘阳 |
| 地址: | 650000 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种碳材料的镀膜设备,涉及碳材料加工的技术领域,包括机架,机架上设置有加工台,加工台上转动设置有转盘,机架上还设置有带动转盘转动的动力结构,转盘的上表面均匀的设置有若干夹持结构;加工台上还设置有镀膜结构,镀膜结构包括设置于加工台上的支撑板,支撑板上设置有若干竖向的升降气缸和一真空箱,升降气缸的输出轴与开口朝下的罩体连接,罩体的内壁设置有隔板,隔板上设置有贯穿隔板的对准头,罩体的顶部内壁设置有磁控靶,磁控靶与对准头连接,真空箱通过连接管与磁控靶连接;镀膜结构与夹持结构设置有相互配套的感应结构,本实用新型具有使用方便、镀膜效率高、效果好等优点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 材料 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
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