[实用新型]一种碳材料的镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202020081959.3 申请日: 2020-01-15
公开(公告)号: CN211522310U 公开(公告)日: 2020-09-18
发明(设计)人: 刘灿;郑云武;史正军;阚欢;徐开蒙;林旭;丁宽;施蕊;刘云 申请(专利权)人: 西南林业大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/50
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 刘阳
地址: 650000 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型公开了一种碳材料的镀膜设备,涉及碳材料加工的技术领域,包括机架,机架上设置有加工台,加工台上转动设置有转盘,机架上还设置有带动转盘转动的动力结构,转盘的上表面均匀的设置有若干夹持结构;加工台上还设置有镀膜结构,镀膜结构包括设置于加工台上的支撑板,支撑板上设置有若干竖向的升降气缸和一真空箱,升降气缸的输出轴与开口朝下的罩体连接,罩体的内壁设置有隔板,隔板上设置有贯穿隔板的对准头,罩体的顶部内壁设置有磁控靶,磁控靶与对准头连接,真空箱通过连接管与磁控靶连接;镀膜结构与夹持结构设置有相互配套的感应结构,本实用新型具有使用方便、镀膜效率高、效果好等优点。
搜索关键词: 一种 材料 镀膜 设备
【主权项】:
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