[实用新型]一种碳材料的镀膜设备有效
| 申请号: | 202020081959.3 | 申请日: | 2020-01-15 |
| 公开(公告)号: | CN211522310U | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
| 发明(设计)人: | 刘灿;郑云武;史正军;阚欢;徐开蒙;林旭;丁宽;施蕊;刘云 | 申请(专利权)人: | 西南林业大学 |
| 主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 刘阳 |
| 地址: | 650000 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 材料 镀膜 设备 | ||
1.一种碳材料的镀膜设备,包括机架,其特征在于:所述机架上设置有加工台,所述加工台上转动设置有转盘,所述机架上还设置有带动转盘转动的动力结构,所述转盘的上表面均匀的设置有若干夹持结构,该夹持结构用于夹持碳材料以及带动碳材料转动;所述加工台上还设置有镀膜结构,所述镀膜结构包括设置于加工台上的支撑板,所述支撑板上设置有若干竖向的升降气缸和一真空箱,所述升降气缸的输出轴与开口朝下的罩体连接,所述罩体的内壁设置有隔板,所述隔板上设置有贯穿隔板的对准头,所述罩体的顶部内壁设置有磁控靶,所述磁控靶与对准头连接,所述真空箱通过连接管与磁控靶连接,所述罩体的开口端与夹持结构中的框体形状、尺寸匹配;所述镀膜结构与夹持结构设置有相互配套的感应结构,该感应结构用于判断罩体与框体位置是否对应。
2.根据权利要求1所述的一种碳材料的镀膜设备,其特征在于,所述夹持结构包括设置于转盘上的框体,所述框体的两个相对的侧壁上分别设置有驱动电机,所述驱动电机的输出轴固定设置有推板,所述推板上设置有若干贯穿推板的导向杆,所述导向杆的一端与夹板连接,所述导向杆上滑动套设有弹簧,所述弹簧的一端与夹板连接,另一端与推板连接。
3.根据权利要求2所述的一种碳材料的镀膜设备,其特征在于,两个所述夹板的相对应分别设置有一层防滑垫。
4.根据权利要求3所述的一种碳材料的镀膜设备,其特征在于,所述动力结构包括设置于机架上的伺服电机,以及设置于转盘的转轴上的齿环,且转盘的转轴贯穿加工台,所述伺服电机的输出轴上设置有与齿环齿合的齿轮。
5.根据权利要求4所述的一种碳材料的镀膜设备,其特征在于,所述感应结构包括设置于罩体的外侧壁上靠近转盘圆心一侧的红外线发射器,以及设置于框体的外侧壁上靠近转盘圆心一侧的红外线接收器,且红外线发射器位于罩体外侧壁的中心位置,且红外线接收器位于框体外侧壁的中心位置。
6.根据权利要求5所述的一种碳材料的镀膜设备,其特征在于,所述支撑板上还设置有工控机,所述工控机的外壁设置有控制面板,所述工控机分别与控制面板、伺服电机、驱动电机、升降气缸、真空箱、磁控靶、红外线发射器、红外线接收器电性连接。
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