[实用新型]一种纯离子真空镀膜系统有效
| 申请号： | 202020050506.4 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN211445881U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;夏正卫;范宏跃 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02 |
| 代理公司： | 合肥九道和专利代理事务所(特殊普通合伙) 34154 | 代理人： | 李蕾 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种纯离子真空镀膜系统，包括真空容器，真空容器与抽真空装置相连接，真空容器内设置有用于装配待镀膜的基底材料的装配装置，真空容器上还设置有离子束清洗设备和纯离子真空镀膜设备。本发明提供的上述技术方案，通过离子束清洗设备+纯离子真空镀膜设备，在纯离子真空镀膜前，采用离子束清洗设备对基底材料的表面进行清洗处理，使得基底材料表面吸附的气体分子被完全去除，提高结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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