[实用新型]一种超精密高效硅片双面研磨设备

摘要

本实用新型涉及研磨加工设备技术领域，公开了一种超精密高效硅片双面研磨设备，包括机壳，所述机壳的顶端一侧设有支架，所述支架的顶端设有气缸，所述气缸贯穿支架且底端连接有上研磨盘，所述上研磨盘正下方的机壳上设有支撑座，所述支撑座上设有下研磨盘，所述下研磨盘的中部设置有主动轮，所述主动轮与设置在支撑座内的传动电机相连接，所述下研磨盘的内壁上设有吸尘机构，所述吸尘机构延伸至机壳内部并与除尘箱相连通。本实用新型通过设置的吸尘机构，吸尘孔能够将研磨出的粉尘进行吸收，由于吸尘孔设置为一圈，从而实现每个角度的吸尘，并且过滤网与活性炭网通过支撑块安装在除尘箱内部，便于拆卸与清洁，提高了除尘箱的除尘效率。