[实用新型]一种晶圆片平面测量仪有效
| 申请号： | 202020005939.8 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN211552798U | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 陈跃华;彭从峰;卜志超;陈时兴 | 申请（专利权）人： | 浙江百盛光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;H01L21/66 |
| 代理公司： | 杭州凌通知识产权代理有限公司 33316 | 代理人： | 李仁义 |
| 地址： | 314022 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆片平面测量仪，包括主机架；副机架，所述副机架顶部固定设有测试模组；其中，所述气浮平台上设有用于放置待测片的旋转放置平台和垂直于台面的标准平镜；所述旋转放置平台包括固定底座和转动连接在固定底座上的旋转底座，所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态，所述旋转底座的一端设有抱持机构；在所述旋转底座上与所述抱持机构相对的另一端设有滑座，所述滑座上设有丝杆和与丝杆连接的滑动块，滑动块上设有推杆，用于推动被测片。本实用新型的优点是：通过增加推杆能够使晶圆片在竖直状态下受支撑产生的形变得到消除，提高测试的精确度，同时晶圆片竖直放置，减小了传统测试方法中重力对晶圆片的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 平面 测量仪 | ||
【主权项】：
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