[发明专利]光学元件疵病的抑制设备及方法有效
| 申请号： | 202011644590.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112845372B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张剑锋;张帅;雷向阳;安晨辉;汪圣飞;高锐;苏文虎;张利平;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B11/00;B08B11/02;B08B9/28;B08B9/34;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 余菲 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光学元件疵病的抑制设备及方法，该光学元件疵病的抑制设备包括：吹扫装置、吸附装置、第一吸盘和洁净容器，吸附装置、吹扫装置与第一吸盘均安装在洁净容器中；吹扫装置的出风口对向光学元件的待吹扫面；第一吸盘设置于洁净容器的底座上，第一吸盘与吸附机构相对设置；吸附装置用于吸附光学元件的吸附面，并通过升降机构驱动吸附机构将光学元件调整至吹扫高度；吹扫装置用于吹扫光学元件的待吹扫面；吸附装置用于将吹扫后的光学元件放置于第一吸盘上进行吸附，通过第一吸盘完成对光学元件的真空吸附装夹。因此能够解决光学元件在真空吸附装夹过程中，存在容易产生表面疵病的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 抑制 设备 方法 | ||
【主权项】：
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