[发明专利]一种晶圆测试探针卡状态异常处理方法在审
| 申请号： | 202011638400.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112798998A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李成霞 | 申请（专利权）人： | 杭州广立微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 江苏坤象律师事务所 32393 | 代理人： | 赵新民 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市西*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆测试探针卡状态异常处理方法，包括选定测试计划与待测晶圆，读取探针卡信息，将探针卡状态文件复制放入本地目录；更新当前机台探针卡状态信息到服务器上的探针卡状态文件中；判断所述服务器上的探针卡状态文件更新是否成功，若成功则直接继续；若不成功，则测试系统发出警报，判断是否继续执行测试流程，若继续执行，则将当前机台探针卡状态信息更新至本地文件；测试结束后，更新本地探针卡状态文件至服务器。能够对一些细节错误的异常进行特殊处理，不需要使测试中途停止，并将异常信息实时反馈给用户，缩短了测试时间，有利于提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 探针 状态 异常 处理 方法 | ||
【主权项】：
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